STEP-WAFER　光学膜厚測定用基準ウエハ

STEP-WAFERはシリコン上に二酸化シリコンの薄いウエハで構成されています。ウエハ表面にはそれぞれステップナンバーが記載されています。ウエハはエリプソメータで校正されており、付属の校正データシートは各ステップのXとYの位置、ψ、δ、周期(nm)、および膜厚(nm)などの情報を含んでいます。