STEP-WAFER 薄膜レファレンス用ウェハ

オーシャンオプティクス社のSTEP-WAFERは、直径100mmで、0-500nmの範囲の厚さの薄膜で構成された５段階のウェハです。薄膜の測定やサンプルの透明帯の測定の際のリファレンスとして使用する事ができます。
主に、シリコンウェハや光学レイヤーなどの薄いサンプルの測定の際に、シリコン-二酸化シリコンのリファレンスウェハをご利用ください。
STEP-WAFERはシリコンの上に二酸化ケイ素の薄膜を乗せたリファレンス板です。５段階の角表面には番号がふられています。エリプソメータを使用した校正された校正データには、各段階におけるX、Yの位置やψ、δのピリオド(mm)、そして厚み(mm)の情報が含まれています。